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417473277

木虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】请问纳米级材料的性能怎么测 已有2人参与

我是做镀膜实验的,因为我镀膜的目的是做光学薄膜,对它的透光率要求比较高,所以膜的厚度一般在100纳米以内。由于很多检测手段都是要求微米级别,至少是几百纳米才能测,比如XRD,膜厚,膜基结合,硬度,电阻等,所以我镀的膜在我们这儿用常规的手段都测不了,所以我想请教一下,有谁知道,在哪儿用什么手段能测这么纳米级薄膜的性能吗?

[ Last edited by zlin on 2010-4-10 at 22:36 ]
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moomin313

银虫 (正式写手)

可以用纳米压痕的方法测硬度、结合力。至于膜厚可以做截面的SEM测一下啊。物相分析利用XRD的掠散射模式试一下,这种模式是针对薄膜的。
2楼2010-04-12 08:14:02
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wanwubo

铁虫 (小有名气)

用万用表试下测试电阻
3楼2010-04-12 12:29:34
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