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lovelyloeve新虫 (初入文坛)
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【请教】50nm尺寸的聚苯乙烯（ps）图案怎样转移到硅上 用DRIE?
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50nm尺寸的聚苯乙烯（ps）图案怎样转移到硅上 用DRIE? 另求反应所需要的气体 要求对硅和聚苯乙烯的选择性要好 |
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