| 查看: 219 | 回复: 0 | ||
| 当前主题已经存档。 | ||
lovelyloeve新虫 (初入文坛)
|
[交流]
【请教】50nm尺寸的聚苯乙烯（ps）图案怎样转移到硅上 用DRIE?
|
|
|
50nm尺寸的聚苯乙烯（ps）图案怎样转移到硅上 用DRIE? 另求反应所需要的气体 要求对硅和聚苯乙烯的选择性要好 |
回复此楼
