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lovelyloeve

新虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】50nm尺寸的聚苯乙烯（ps）图案怎样转移到硅上 用DRIE?

50nm尺寸的聚苯乙烯（ps）图案怎样转移到硅上 用DRIE?
另求反应所需要的气体 要求对硅和聚苯乙烯的选择性要好
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diblock copolymer
1楼2010-04-02 20:18:12
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