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新虫 (初入文坛)

[交流] 科研求助:请问半导体标准工艺如何清洗单晶Si和玻璃基片？

我是做铁电薄膜的，我看很多文章都说用半导体标准工艺清洗基片，请问半导体标准工艺如何清洗单晶Si和玻璃基片？

[ Last edited by Pd7577 on 2010-5-23 at 11:15 ]

1楼 2010-03-31 21:31:13

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