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luwei_6铜虫 (小有名气)
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[交流]
【请教】（111）择优取向微晶（非晶）Si(SiNx)的适宜生长条件？
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| 在下使用的方法是磁控溅射，衬底才用玻璃或者硅片（111/100），请问各位高手什么温度、压强、气流量和溅射功率适合生长（111）择优取向微晶（非晶）Si(SiNx)薄膜？有相关文章信息也行，不胜感激！ |
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