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【讨论】双层膜制备的p-n结如何用XRD衍射方法去辨别结的好坏?
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082101402
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[交流]
【讨论】双层膜制备的p-n结如何用XRD衍射方法去辨别结的好坏?
在事先得到的p型薄膜上沉积一层n型薄膜形成p-n结,通过X射线衍射技术来分析晶体结构,衍射峰要如何分布(只有n型膜的峰?n型和p型膜的峰都有?抑或什么?)才说明p-n结是好的???
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1楼
2010-03-23 16:00:06
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082101402
银虫
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Originally posted by
ftfxiaoyu
at 2010-03-23 16:46:34:
如果是同样的材料,应该只有一组衍射峰,无法判断p-n结建立与否。
如果是异质结,应该有两组峰,否则没有结晶的话p-n结会很差。
是异质结,但做XRD时,能深入到下层膜?若能深入到下层膜也可以深入到衬底啊。
假若只有一组峰,也可说明是上层膜致密度很好
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9楼
2010-03-24 15:21:19
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ftfxiaoyu
木虫
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专业: 半导体材料
★
082101402(金币
+1
):谢谢参与
如果是同样的材料,应该只有一组衍射峰,无法判断p-n结建立与否。
如果是异质结,应该有两组峰,否则没有结晶的话p-n结会很差。
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2楼
2010-03-23 16:46:34
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ftfxiaoyu
木虫
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虫号: 457081
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性别: GG
专业: 半导体材料
因同种材料p、n型的转变靠掺杂其他元素,含量相当小,是看不到衍射峰的
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3楼
2010-03-23 16:48:35
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doesun
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专业: TEM
★
082101402(金币
+1
):谢谢参与
引用回帖:
Originally posted by
082101402
at 2010-03-23 16:00:06:
在事先得到的p型薄膜上沉积一层n型薄膜形成p-n结,通过X射线衍射技术来分析晶体结构,衍射峰要如何分布(只有n型膜的峰?n型和p型膜的峰都有?抑或什么?)才说明p-n结是好的???
你还是TEM吧,上海doesun可以给你快速提供结果。
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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
4楼
2010-03-23 18:43:03
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