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bihui_1981

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【讨论】搭建实验室CVD,多多建议!

如题:制备碳纳米材料,需自己购买真空表,真空泵,温度控制器和气体流量计,请建议下大家都使用哪公司的仪器,谢谢!
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chnoy

银虫 (小有名气)

★ ★ ★
bihui_1981(金币+5):谢谢回复!气体流量计200块的行吗? 不是质量流量计,预算不多! 2010-03-23 12:33
化学小工(金币+3):谢谢参与 2010-03-23 16:06
分子泵预算高的化建议买国外的泵,爱德华瓦里安爱发科等等,预算少就中科科仪吧,前级泵推荐用干泵,可以避免油污染,要是无所谓机械泵也凑合用。同样,预算高的话还是推荐进口泵,因为进口泵跟国产泵性能不止好了一点点,当然价格也不止高了一点点。真空规有电容规电阻规等等,不同的类型功能是不太一样的,电容规对气氛不敏感而电阻规对气氛比较敏感,电容规比较贵,而且好像只有进口的。真空计成都瑞宝卖的不错。温度控制仪厦门宇电的做的很好。流量计推荐进口的,国产的性能不太好,准确度,稳定性都不好,国内七星华创在做。
2楼2010-03-23 12:03:33
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)


bihui_1981(金币+5):谢谢 2010-03-24 09:20
化学小工(金币+1):谢谢交流 2010-03-24 21:54
上面那位把泵说得比较完全了,主要看你的CVD系统需要多高的本底和工作真空度。测量高真空用电离规(0.1Pa以下),低真空用电阻或热偶规,当然要真空显示仪。气体流量计控制不准确,会严重影响你获得的材料,建议用MFC。并出口气体加减压阀,降低进入真空室的气压。最重要的是密封胶圈,可选聚四氟的,耐的温度高些。
3楼2010-03-23 17:26:46
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