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M.K木虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】请大家推荐几个淀积非晶硅的PECVD设备厂家
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如题， 主要用于科研目的，腔室不需要太大，单腔或多腔均可，非晶硅微晶硅都能淀积，国内外均可，最好给个大致价格，谢谢 |
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铁杆木虫 (著名写手)
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- 注册: 2008-02-29
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
M.K(金币+5):thanks 2010-03-16 22:54
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please see www.mvsystemsinc.com and could contact this mail, fzhu@mvsystemsinc.com |
2楼2010-03-16 22:10:04
3楼2010-03-17 09:25:55
4楼2010-03-19 16:56:21