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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】请大家推荐几个淀积非晶硅的PECVD设备厂家
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M.K

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请大家推荐几个淀积非晶硅的PECVD设备厂家

如题，
主要用于科研目的，腔室不需要太大，单腔或多腔均可，非晶硅微晶硅都能淀积，国内外均可，最好给个大致价格，谢谢
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魔鬼的孩子自有魔鬼的好运
1楼 2010-03-16 19:55:01
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
M.K(金币+5):thanks 2010-03-16 22:54
please see www.mvsystemsinc.com
and could contact this mail, fzhu@mvsystemsinc.com
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2楼2010-03-16 22:10:04
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floljf

金虫 (正式写手)
M.K(金币+3): 2010-03-17 16:11
引用回帖:
Originally posted by cord at 2010-03-16 22:10:04:
please see www.mvsystemsinc.com
and could contact this mail, fzhu@mvsystemsinc.com

呵呵呵。。。两位兄台都聊着呢？
国内的有福建godsun（其设备厂商为精铂），安徽的普乐，不过主要都是工业化生产需要的了！
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3楼2010-03-17 09:25:55
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nikeranran

新虫 (初入文坛)
★
M.K(金币+1):谢谢参与
M.K(金币+2): 2010-03-19 23:58
科研的啊，国内有沈科仪、北仪创新吧，国外只知道有用于生产线的设备
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-03-19 16:56:21
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