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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】测微米尺度薄膜的厚度需要什么显微镜？
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[交流] 【求助】测微米尺度薄膜的厚度需要什么显微镜？

请大家帮我分析一下，我想在玻璃或者硅上溅射一层或多层薄膜，这些薄膜多数是半透明的，厚度在0.5-2微米之间，我希望能依靠一种光学显微镜对厚度有个大致的测量，然后根据结果改进我的实验参数，这就需要放大倍数在500倍以上，最好能达到1000倍甚至更高，但必须不能使用油镜。

我看了江南永新和上海长方的显微镜资料，发现金相显微镜和偏光显微镜似乎对我有用，我对这两种显微镜的用途不甚了解，不知道该买哪一款。
请热心的网友们帮我参谋参谋，谢谢了。
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1楼 2010-03-15 18:43:59
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fangbj

木虫 (正式写手)
★
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-25 01:27
台阶仪或椭偏仪可以测薄膜厚度，普通的光学显微镜不行，尤其国产的金相显微镜，600倍以上聚焦极度困难。Olmpus的这么大的倍数也不行。
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8楼2010-03-24 17:25:36
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
如果样品不平整，用光学显微镜基本看不出东西，因为聚焦太困难。
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9楼2010-03-26 09:01:31
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普通回帖

doesun

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你这个还是做TEM截面分析吧
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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
2楼2010-03-15 19:39:08
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xucz

荣誉版主 (文坛精英)

金属的金属

优秀区长优秀区长优秀区长优秀版主优秀版主
★
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-16 01:21
金相显微镜1000倍以上就比较困难了，可以用扫描电镜
透射电镜有点太麻烦了
或者用激光共聚焦显微镜
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有所为.有所盼
3楼2010-03-15 22:58:17
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lvyifei9286

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
只是要厚度的话，台阶仪也可以
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4楼2010-03-16 11:29:25
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
原子力显微镜对这个高度似乎有点为难了
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这个家伙很懒，什么也没有留下
5楼2010-03-16 14:31:01
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
★
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-25 01:27
激光共聚焦显微镜是可以的，椭偏也行，因为是半透明膜。SEM的截面样品不太好做，还要求导电。TEM更难完成。用显微镜看厚度基本不可能，因为景深太小，你分辨不出哪里是分界面
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6楼2010-03-24 11:25:06
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082101402

银虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-25 01:27
用扫描电镜扫描断面就可以得出其大概的厚度
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7楼2010-03-24 17:14:44
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
由于光学显微镜景深太小，基本上看不出样品的起伏全貌。
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10楼2010-03-26 09:02:12
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