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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】测微米尺度薄膜的厚度需要什么显微镜？
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[交流] 【求助】测微米尺度薄膜的厚度需要什么显微镜？

请大家帮我分析一下，我想在玻璃或者硅上溅射一层或多层薄膜，这些薄膜多数是半透明的，厚度在0.5-2微米之间，我希望能依靠一种光学显微镜对厚度有个大致的测量，然后根据结果改进我的实验参数，这就需要放大倍数在500倍以上，最好能达到1000倍甚至更高，但必须不能使用油镜。

我看了江南永新和上海长方的显微镜资料，发现金相显微镜和偏光显微镜似乎对我有用，我对这两种显微镜的用途不甚了解，不知道该买哪一款。
请热心的网友们帮我参谋参谋，谢谢了。
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1楼 2010-03-15 18:35:53
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doesun

新虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
Originally posted by dearmaximus at 2010-03-15 18:35:53:
请大家帮我分析一下，我想在玻璃或者硅上溅射一层或多层薄膜，这些薄膜多数是半透明的，厚度在0.5-2微米之间，我希望能依靠一种光学显微镜对厚度有个大致的测量，然后根据结果改进我的实验参数，这就需要放大倍数 ...

你的这个厚度的精确分析需要透射电子显微镜，至于光学显微镜我还没听说有此功效。如果贵单位需要TEM分析，上海Doesun作为大陆第一家TEM截面分析商会给你最为快捷的服务。
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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
2楼2010-03-15 19:33:16
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★
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台阶仪也可以测，要求台阶较窄
当然了也有光学显微镜可以测，不过国内好像还没有
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3楼2010-03-15 19:38:00
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plum8736

铁杆木虫 (职业作家)

快乐家族--科比的偶像
★
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直接原子力显微镜就能看厚度 但是我看的一般是40nm的 你的那个有可能太厚
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4楼2010-03-15 19:40:46
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