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cqh3851038

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】我有一个问题你们帮我一下

你们好,我有一个问题想请教你们:我在热氧化的硅衬底上镀了一层300纳米的镍,在1000度下退火,长处像菜花的结构,上面有硅、镍、氧,怎么长出这样的结构?
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搞研究如同做人认认真真
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dove_ndf

至尊木虫 (正式写手)

虽然不懂,帮你顶一下,正好也学习学习!
2楼2010-03-07 19:17:23
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Dracula296

cqh3851038(金币+1): 2010-04-10 14:35
氧化物呗
3楼2010-03-08 10:03:16
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lp749

金虫 (小有名气)

★
xucz(金币+1):鼓励参与交流 2010-03-08 19:41
cqh3851038(金币+1): 2010-04-10 14:35
要想长出菜花样的结构,在退火的条件下很难办到,应该在热氧化的硅上生长300nm的镍膜时来控制,我想问你膜的生长用的是啥方法,溅射还是离子镀之类的,或者是用PECVD的化学方法????????
4楼2010-03-08 16:41:40
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cqh3851038

金虫 (正式写手)

我的镍膜是溅射堵上的

你们好,我的镍膜是溅射堵上的。
搞研究如同做人认认真真
5楼2010-03-11 17:53:51
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