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【求助】请教关于传输线法测定欧姆接触电阻的问题
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欧姆接触电阻目前常用的方法都采用特殊的电极图案来测试电极的接触电阻值。 传输线法就是印制直线,在与周围环境绝缘的条形半导体材料上制备不等距的长方形接触块. 请问如何做到与周围环境绝缘?是否是半导体基板与周围环境绝缘? 不胜感谢! |
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