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gxchao0

银虫 (小有名气)

[交流] 哪位能介绍一下各种现代测试分析方法分析范围

3q!!!
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runqi

★ ★
mainpro(金币+2):谢谢解答问题!
Composition analysis methods

Analysis Methods        Elemental Range        Detection Limits (at.%)        Spatial Resolution        Penetration

XPS        Li - U        0.1 - 1        100 m        1.5 nm
AES        Li - U        0.5        10 nm        0.5 - 7.5 nm
RBS        Li - U        1.0         1 - 4 mm        2 - 30 nm
EDX        Be - U        0.1        0.5 - 2.0 m        1 - 3 m
2楼2006-02-17 09:36:24
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forster_ai

铜虫 (初入文坛)

主要看楼主需要测什么样品了,楼上的把几种常用的方式说了,欧补充一些。
1. XPS(X-ray Fluorescence Spectrometry-x射线光电子谱)和AES(Auger Electron Spectrometry, 俄歇电子谱)主要用于表面成分分析,主要由于他们激发的电子或荧光自由程很短。其中auger的分辨率搞(探测极限和空间分辨率两个方面)但主要用于测轻元素(理论上可以测重元素但效率不高),而XPS则可以测Be-U的所有元素,虽然分辨率稍低。
他们基本是专用设备(独立的)
2.EDS 和 WDS 可以测基体成分,空间分辨率一样,取决于样品和加速电压而定(15kev,Ti样品空间分辨率1立方微米,而铝就得3-5立方微米)
WDS有三个优点(1)可以测痕量元素~0.1%,但需要使用合适标样(2)分辨元素精度高,主要是峰位半高宽分辨率高,在20ev,而EDS一般在150ev左右,所以峰位重叠可能性小。(3)可以测轻元素,理论上是B以上的元素,对于O,N,S,P的测定是拿手的。一个缺点,耗时长,一次只能测一个元素。。。
EDS 优点是快速测定基体中所有元素,但可信的是Na以上的(理论上是B以上,但由于低能部分和重元素的L,M峰的重合使得标定不可信),如果制备与样品成分接近的标准样品后再使用EDS是测定Na以上元素的可信的方法(精度在0.1%wt),可以替代化学分析。。但如果没有标样或者只有纯元素标样,则误差在1%以上,痕量元素量化结果不可信!
以上主要配置在SEM和TEM上,wds好像只在sem上
3. EELS(能量损失谱),测定Be以上所有元素,定量不是很容易,但定性很好,同时可以测定元素的化合价位,主要装在TEM上
4.化学分析(water-chemical analysis,水法分析),通吃,测微量(小于10%很准,大于40%就有些困难。。)
5.UPS。。RBS。。我不懂

注:本人经常用auger,edx和wds。。但xps没用过,但我们这有这个设备所以知道一些,
3楼2006-02-18 03:47:31
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