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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】AAO的脱膜问题
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guwei2892091

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】AAO的脱膜问题 已有11人参与

有没有比较好的脱膜方法，试了饱和氯化铜，反应相当剧烈，得不到完整的膜
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1楼 2010-03-06 17:33:06
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guwei2892091

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 吓吓虫 at 2010-09-18 13:37:33:

我们用的比例是浓盐酸15mL ,水 50mL
不会把AAO 溶掉的，我们有专门去除阻挡层的凹槽，一般的话把凹槽滴满溶液就可以了，让他反应，等一会就好，不过你不能离开，时间长了肯定是不好的。

曾经我用这种方法试过，我是想得到500nm厚的AAO，二次氧化时间10min，但是后来背面铝去了之后，AAO也没了。
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12楼2010-09-18 15:38:10
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chengui2010

铜虫 (初入文坛)
★
guwei2892091(金币+1):谢谢参与
用饱和的氯化汞吧，效果蛮不错的，就是要注意安全！
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2楼2010-04-05 14:00:19
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

心静、静心

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★
guwei2892091(金币+1):谢谢参与
去除氧化铝膜背面的铝的方法是用可溶性的惰性金属盐溶液和铝反应例如氯化锌，氯化铁，氯化汞等！去除背面的铝后，在孔的底部仍保留一层致密的氧化铝阻挡层，可以用稀磷酸去除以达到扩孔的目的！祝你实验成功！
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学会选择，懂得放弃，有信心不一定会赢，没信心一定会输
3楼2010-04-05 15:40:54
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nanguarang

银虫 (小有名气)
★
guwei2892091(金币+1):谢谢参与
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=1704768
先版内搜索比较好
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4楼2010-04-05 15:42:33
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