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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】光刻CrO2 thin film
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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abxieliang

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】光刻CrO2 thin film 已有1人参与

有没有人光刻过CrO2 薄膜呀？ 用的刻蚀剂是什么呀？
谢谢！！
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1楼 2010-03-04 16:51:50
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yugan2008

银虫 (初入文坛)
★
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你是要刻蚀CrO2薄膜吗?做光刻都是要在光敏胶上光刻，然后显影留下图形后刻蚀基底。
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小木
2楼2010-03-06 21:52:11
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good256

铜虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你问的刻蚀剂是光刻胶的还是CrO2的？
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3楼2010-09-11 03:08:58
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