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【求助】【求助】XPS深度剖析中如何获得剖析的深度？
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| 比如在Ti合金表面进行XPS深度刻蚀确定表面钛氧薄膜的厚度，有的文章上说用标准的TiO2样品做参比，在相同条件下得知标准TiO2样品的溅射速率，然后根据Ti合金表面溅射时间确定氧化膜的厚度。但是标准的TiO2样品在特定条件下的溅射速率如何获得呢？ |
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