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lxg94022622

铜虫 (初入文坛)

[交流] 求“选择性外延”方面的资料或文献

小弟想要学习选择性外延方面的知识,求资料或文献
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lxg94022622

铜虫 (初入文坛)

你好

感谢你的回复,只是这些文章好像很难找啊!
3楼2010-02-07 09:52:08
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mdzhao

木虫 (正式写手)

lxg94022622(金币+1): 2010-02-07 09:49
lxg94022622(金币+1): 2010-02-07 21:43
《微传感器与微执行器全书》,作者:(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译  页数:673  出版社:科学出版社  出版日期:2003  
目录:  6.4选择性外延生长 第85页

锗硅选择性外延在应变技术中的应用
作者:王宸煜  刊名:集成电路应用  出版日期:2008  期号:第8期  

模板作用与金刚石的选择性生长
作者:马丙现,张兵临,姚宁,杨仕娥  刊名:郑州大学学报(理学版)  出版日期:2004  期号:第2期  

均匀的选择性外延生长的条件
作者:Drowl.,C,肖建农  刊名:江南半导体通讯  出版日期:1992  期号:第2期
2楼2010-02-07 00:27:08
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