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xihuashida9682

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】求JSM-6510 LV扫描电镜的说明书

请问哪位高手有JSM-6510 LV扫描电镜的说明书?请上传一份,谢谢。

我还有下面三个问题请教各位高手(以JSM-6510 LV SEM为例):

(1)扫描电镜的电压对测试结果有什么影响?怎办选择合适的电压?
(2)Spot Size的设置(值的大小)对测试结果有什么影响?如何正确设置?
(3)EDS(能谱)分析时用二次电子成像还是背散射?不同成像模式之间的区别是什么?

谢谢帮助。
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xihuashida9682

木虫 (著名写手)

非常感谢ericcox  的解答!
3楼2010-02-03 21:59:39
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ericcox

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
操作说明官网上有的,可以查找
回答你的问题:
1,电压影响的是你的清晰度和分辨率,高电压下样品看的更清晰,不过高电压也会损伤样品表面以及减少灯丝的寿命,所以电压选择综合考虑
2,Sport size是指光栏的大小,决定进光量,会影响清晰度以及照片质量,这个需要和所用电压匹配,需要尝试
3,EDS分析时使用的是EDS探头,不是二次电子或背散射,这两个是用来针对不同样品成像的,二次电子是扫描电镜的标配,但是如果样品放电严重或导电不好,建议使用背散射。

[ Last edited by ericcox on 2010-2-3 at 20:59 ]
2楼2010-02-03 20:46:23
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