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hunri

金虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】有谁知道改良西门子法制备多晶硅,CVD沉积即三氯氢硅氢还原中使用催化剂的报�

有谁知道改良西门子法制备多晶硅,CVD沉积即三氯氢硅氢还原中使用催化剂的报道啊
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

★
催化大师(金币+1):谢谢指点,欢迎常来催化版讨论! 2010-03-06 10:03
三氯氢硅氢还原中使用催化剂的报道?。。
没听过改良西门子法还原用催化剂的啊,合成用催化剂倒是可以提高三氯氢硅的效率。还原用催化剂,那金属都引入最终产品了。。好像硫化床法倒是可以用催化剂。
个人观点,可能对你没什么帮助,呵呵
是金子总会发光!!!
2楼2010-03-06 08:24:19
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xiaoxiao9178

金虫 (小有名气)

CVD
就是在高温下在硅棒上沉积,不用催化剂。如果有催化剂怎么保证纯度,多晶硅要求〉99.9999%。
3楼2010-03-06 19:59:27
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lcqin

金虫 (小有名气)

如果找到一种催化剂既不影响纯度又能提高生长速度降低能耗那绝对是里程碑式的
4楼2010-03-09 14:02:10
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