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xhzhi1985

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】如何除去因薄膜厚度不同而产生的方阻变化

如题,因为实验条件的限制,同一系列的薄膜的厚度总会有几十纳米的差异(薄膜厚900nm左右),对薄膜的方阻产生了较大影响,怎么样才能除去这种影响呢?先谢了!
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做事要规则,做人要原则
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shelby2857

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你的这个偏差已经很大了,还是应该从制备薄膜的工艺方面想办法,或者用一个样品做标准样来比对
2楼2010-02-05 10:11:36
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