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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【讨论】薄膜所含元素如何定量分析?
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348813172

木虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】薄膜所含元素如何定量分析?

薄膜如何定量分析以确定所含元素的摩尔比？请各位大侠赐教
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1楼 2010-01-27 22:57:45
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250895421

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1):谢谢 2010-01-28 14:02
eds,要够厚的话直接测试就好，不怎么厚的话最好弄成粉末，不然衬底影响很严重。当然测试XPs也行吧
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2楼2010-01-28 09:30:05
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348813172

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 250895421 at 2010-01-28 09:30:05:
eds,要够厚的话直接测试就好，不怎么厚的话最好弄成粉末，不然衬底影响很严重。当然测试XPs也行吧

EDS分析的元素的摩尔比准确不？如果薄膜做个面扫描的话，不知道得出的结果是否可信？
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3楼2010-01-28 11:43:05
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闪闪红心

荣誉版主 (著名写手)

聪聪家族之007
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
EDS分析精确度不高，而且是统计分析，建议XPS分析的好
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4楼2010-01-28 14:03:42
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shadowdiamond

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我觉得还是XRF比较靠谱一点
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5楼2010-01-28 15:21:19
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fff333

新虫 (初入文坛)
用XPS啊
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6楼2010-01-28 20:30:16
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