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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 【求助】sialon 如何刻蚀好
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yangzhangfu

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】sialon 如何刻蚀好

请问下做sialon 或Si3N4的朋友，做SEM用什么刻蚀方法好，熔碱刻的图片好像总是不好看
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1楼 2010-01-21 18:51:58
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mmc

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
熔融NaOH 做出来效果 还是很不错的。但是楼主要自己优化一下工艺参数。
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2楼2010-01-21 21:19:05
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yangzhangfu

金虫 (正式写手)
先谢谢了，不过还是要问问，工艺应该主要从时间上控制吧，我希望SEM照片不要刻的像断面，而且尽量不要出现有晶粒被刻掉的情况，但结果常常会发生，否则晶界很难刻出来，是不是不单单用NaOH?我看有的文献上刻的很漂亮。
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3楼2010-01-22 14:04:28
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mmc

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by yangzhangfu at 2010-1-22 14:04:
先谢谢了，不过还是要问问，工艺应该主要从时间上控制吧，我希望SEM照片不要刻的像断面，而且尽量不要出现有晶粒被刻掉的情况，但结果常常会发生，否则晶界很难刻出来，是不是不单单用NaOH?我看有的文献上刻的很漂 ...

温度 也很重要！！
如果晶粒都掉了，那是时间太长
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4楼2010-01-22 21:55:38
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