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exciton-wu

木虫 (正式写手)

[交流] 求助:关于磁控溅射用靶材开裂的问题

靶为钙钛矿结构铁磁氧化物。第一次溅射时会断裂成几块(2-8块)。请问有没有解决这个问题的经验呀?

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我有三宝,持而保之.一曰慈,二曰俭,三曰不敢为天下先---道德经
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lj-cmf8719

银虫 (小有名气)

★ ★ ★
exciton-wu(金币+4):谢谢参与
exciton-wu(金币+2,VIP+0): 1-21 11:16
应该是热应力的问题,考虑一下预热
朋友们好,能在这里认识大家,和大家交流真好,希望我们成为朋友,互相帮助。
2楼2010-01-21 10:59:36
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