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huyingmm

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[交流] 【其他】LCQ-Adv ion gauge 的检测和拆卸

应版主happy169的要求，我把我前几天检测和拆卸ion gauge的过程写出来，只可惜忘拍照片了，不然更易懂。

我用的质谱是LCQ-Adv，在我开机械泵抽真空后两天还一直无法达到真空度，ion gauge 一直无法点亮，所以我就想可能是ion gauge坏了，其实真空度已经达到了，而只是测量真空度的ion gauge出现问题而一直无法点亮而已。所以，在工程师的指导下，首先测量了ion gauge的电阻，理论上说如果ion gauge是好的话那它的电阻应该为0，否则就是有问题。下面是我如何测量它的电阻：
1）打开前面板，松开右侧边立柱中不的一个螺丝；

2）向前推仪器右侧板（外侧），取下右侧板后可以见到一块大的电路板即系统控制板（System Control PCB）；

3）面对系统控制板，左侧边上部有一插头插在系统控制板P9处（见附件）；

4） P9在电路板内侧（右侧）的连线中3、4脚两点之间的电阻应接近0欧姆则Ion Gauge灯丝正常，反之Ion Gauge坏。我的测量结果是617欧姆，所以 ion gauge 有问题。
以上的测量时main power是开着的。

我们又不想请工程师来维修，如果真的是ion gauge坏了的话我们就想自己更换，下面是拆卸ion gauge的程：
1）  打开前面板，松开右侧边立柱中不的一个螺丝；
2）  向前推仪器右侧板（外侧），取下右侧板后可以见到一块大的电路板即系统控制板（System Control PCB）；这个可以不取下来。
3）  将上面的顶盖向前拉大概5cm左右，此时会拉不动，然后将顶盖向上翻，就可以将顶盖卸下来了。
4）  俯视仪器腔体，在右面有两个铝盒，其实就是两个铝盒盖子盖着两个部件。靠后的那个铝盒盖子的下面就是真空规。在这个铝盒盖着的这一部分的左边壁上有一个突出的黑色塑料旋钮，将它旋转到垂直的位置然后向左拉就可以将这里的一小块平板拿出来了，此时就露出了一个小门，手可以伸进去的。真空规就在这个里面，它是向下垂直放的，就像放在一个坑里一样，真空规的上面连着电缆，电缆的另一头就在P9处。将电缆帽轻轻的往上拔就可以将电缆和真空规断开了。此时真空规会露出四个小脚，大概七八毫米那么长吧。而在电缆帽上也有四个孔，刚好是跟真空规的四个脚对应的。在附件里我放了真空规，可以看看。然后我又测了真空规1和3之间的电阻，为0；其余两脚之间均为无穷大。这说明真空规是通的，没有坏。难道是电缆不通了？接着又将P9的白色插头从PCB上拔下，测电阻，连接离子规这头的电缆帽上的四点在电缆另一头都能找到一个能使电阻为 0 的位置，说明电缆也是好的。我就很奇怪了，又将线路全部接好。开机抽真空，等待一段时间之后，ion gauge 能点亮，但又会慢慢的增大知道大于10然后自动关闭，第二天来了之后ion gauge点亮并维持在1.7左右，没有自动关闭，仪器又神奇般的好了。
后来我想了想，可能是仪器里的灰尘太多了，导致了线路的电阻增大，因为当时拆的时候也顺便吸了吸灰，可能是这个原因吧。

所以我并未把真空规取出，在拔掉真空规上的电缆帽后还有一个环将真空规固定在那个坑里，所以要使劲的将这个环拧松，一般女生是拧不动的，得找男生帮忙。拧松后就可以将真空规拿出来了，拿出真空规时一定要小心，它易碎。

此外，从侧面观察真空规真的很费劲，手也不好操作。所以我们刚开始的时候是将上面的铝盒盖拆掉了，铝盒盖的四周有朝下的固定螺丝，将其拧松就可以将铝盒盖拿起来了，铝盒盖盖着的是一个线路板，线路板只是卡在那里，也可以轻轻的把它拿起来，注意这个线路板有线路问题，拿起来之前要把其与其他部件的线路连接的塑料卡或者叫接头拔断。下面就是真空规了。

写了这么多也不知道我的意思表达清楚没，我只有这个水平了，大家就凑合着看吧。现在想想要是我们真请了工程师来，那这钱花的多冤枉啊。

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即使跌倒也要豪迈的笑！

1楼 2010-01-15 12:47:06

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