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不戒

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】SCM表征含义

观察吸附粒子的移动方法SCM的中文全称是什么?
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lwx098

至尊木虫 (著名写手)

★ ★
zhangwengui330(金币+2,VIP+0):谢谢应助! 1-14 10:37
扫描电容显微镜


掃描電容顯微儀(Scanning Capacitance Microscope:SCM)是掃描探針顯微技術代表性儀器之一,具有對映出樣品內隱含的載子?舛然驌诫s?舛鹊亩S分?褜Ρ扔跋瘛F浠驹韨S利用探針與樣品間所形成的等效電容是Cair、Cox和Cd的串聯,而Cair為空氣隙縫所形成的電容量,Cox是厚度為tox的氧化絕緣體所形成電容量,Cd是厚度為td的半導體空乏層所形成的電容量,進而量測半導體內部空乏層的電容量,與最接近探針尖端的局部材料表面摻雜?舛扔嘘P。  

掃描電容顯微儀藉由偵測dC/dV的變量以對映出樣品內隱含的載千?舛龋╟arrier concentration)或摻雜?舛龋╠oped concentration)的二維分?褜Ρ扔跋瘢蓱渺禡OSFETs、diodes或laser-structures等的檢測。


希望没出错!!!

[ Last edited by lwx098 on 2010-1-14 at 08:00 ]
2楼2010-01-14 07:59:13
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