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【求助】SCM表征含义
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| 观察吸附粒子的移动方法SCM的中文全称是什么？ |
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lwx098
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
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- 专业: 其他无机非金属材料
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zhangwengui330(金币+2,VIP+0):谢谢应助！ 1-14 10:37
zhangwengui330(金币+2,VIP+0):谢谢应助！ 1-14 10:37
扫描电容显微镜 掃描電容顯微儀（Scanning Capacitance Microscope：SCM）是掃描探針顯微技術代表性儀器之一，具有對映出樣品內隱含的載子?舛然驌诫s?舛鹊亩S分?褜Ρ扔跋瘛Ｆ浠驹韨S利用探針與樣品間所形成的等效電容是Cair、Cox和Cd的串聯，而Cair為空氣隙縫所形成的電容量，Cox是厚度為tox的氧化絕緣體所形成電容量，Cd是厚度為td的半導體空乏層所形成的電容量，進而量測半導體內部空乏層的電容量，與最接近探針尖端的局部材料表面摻雜?舛扔嘘P。 掃描電容顯微儀藉由偵測dC／dV的變量以對映出樣品內隱含的載千?舛龋╟arrier concentration）或摻雜?舛龋╠oped concentration）的二維分?褜Ρ扔跋瘢蓱渺禡OSFETs、diodes或laser-structures等的檢測。 希望没出错！！！ [ Last edited by lwx098 on 2010-1-14 at 08:00 ] |
2楼2010-01-14 07:59:13
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