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Joindenver银虫 (小有名气)
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【求助】薄膜比基体软 如何读硬度值 已有1人参与
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| 小弟做了用化学气相沉积技术在硅片上沉积了厚度约为350nm厚的DLC膜。用Nano-indenter XP测试了薄膜的纳米力学性能。但发现薄膜硬度比基体低（图中没有峰值）。那这时如何读取薄膜的硬度值呢？ |
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2楼2010-12-13 15:42:40