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Joindenver银虫 (小有名气)
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【求助】PECVD法沉积的DLC膜总“花”
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最近用乙炔和氢气混合气体采用等离子体气相沉积法在Si片上沉积类金刚石薄膜，但做出的薄膜总是花的，同一块基片上做出的薄膜颜色都不一样，感觉特别不均匀，请问各位是怎么回事儿啊？ 谢谢各位了，请大家指点下，帮忙想想办法。 |
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qhdlibo
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2楼2010-01-14 06:04:25
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zhuzhen
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4楼2010-01-14 10:30:13
Joindenver
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5楼2010-01-14 22:53:57