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Joindenver银虫 (小有名气)
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【求助】PECVD法沉积的DLC膜总“花”
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最近用乙炔和氢气混合气体采用等离子体气相沉积法在Si片上沉积类金刚石薄膜,但做出的薄膜总是花的,同一块基片上做出的薄膜颜色都不一样,感觉特别不均匀,请问各位是怎么回事儿啊? 谢谢各位了,请大家指点下,帮忙想想办法。 |
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