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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】PECVD法沉积的DLC膜总“花”
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Joindenver

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PECVD法沉积的DLC膜总“花”

最近用乙炔和氢气混合气体采用等离子体气相沉积法在Si片上沉积类金刚石薄膜，但做出的薄膜总是花的，同一块基片上做出的薄膜颜色都不一样，感觉特别不均匀，请问各位是怎么回事儿啊？
谢谢各位了，请大家指点下，帮忙想想办法。
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1楼 2010-01-13 23:21:22
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qhdlibo

木虫 (小有名气)
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bio-polymer(金币+1,VIP+0):谢谢回帖交流 1-14 10:42
把你设备的等离子体分布特征先搞清楚，找分布（或者转动靶到）均匀的区域，才有可能做出均匀的薄膜来。
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海边的天，很蓝...
2楼2010-01-14 06:04:25
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nrzhang

金虫 (小有名气)
★ ★
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bio-polymer(金币+1,VIP+0):谢谢回帖交流 1-14 10:42
薄膜厚度不均匀。
引用回帖:
Originally posted by Joindenver at 2010-1-13 23:21:
最近用乙炔和氢气混合气体采用等离子体气相沉积法在Si片上沉积类金刚石薄膜，但做出的薄膜总是花的，同一块基片上做出的薄膜颜色都不一样，感觉特别不均匀，请问各位是怎么回事儿啊？
谢谢各位了，请大家指点下， ...

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3楼2010-01-14 08:34:02
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
★ ★
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bio-polymer(金币+1,VIP+0):谢谢回帖交流 1-14 10:42
膜厚不匀产生的干涉，导致花花绿绿的。慢慢摸索吧，改变参数、改进设备啦
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4楼2010-01-14 10:30:13
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Joindenver

银虫 (小有名气)
应该说是膜厚不均匀引起的，但化学气相沉积法一般应该是均匀的啊。影响等离子体分布一般是哪些因素呢？单纯从放电现象上看不出的。开始阶段做的不花，后来在中频电源输出端串接了一个直流电流表(测试工作电流)，清洗真空室后，再次做出的薄膜就花了
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5楼2010-01-14 22:53:57
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