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【求助】关于n型硅的欧姆接触！！
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低阻的n型硅用铝做了电极，基本上可以当做是欧姆接触， 电阻率稍大的肯定就不行了，请问可以用什么金属或者合金蒸发镀膜再退火后可以形成较好的欧姆接触？ |
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有文献，楼主自己到CNKI上查查看： 高阻N型硅的欧姆接触 http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-DZXU198603020.htm |
2楼2010-01-04 17:30:40
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