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sholomo

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[交流] 【求助】15微米的镍和50nmAg两层金属，腐蚀的问题

15微米的镍和50nmAg两层金属，腐蚀的问题：

在镀的15微米的镍（Ni在上）和50nmAg（在下，衬底是硅）两层金属上我做了掩膜版，然后打算腐蚀掉暴露在外面的镍，露出Ag银层后继续腐蚀掉银，就是把没有掩膜的地方的镍和银全部腐蚀掉，露出硅....

问题：1.腐蚀镍和银，有什么溶液能同时腐蚀掉镍和银？
2.一种能同时腐蚀镍和银的溶液会造成腐蚀速度不统一，而出现畸形侧壁吗？就是侧面腐蚀的速度有差异吗？

3.分步腐蚀可能比较好控制侧面壁的形状：那么用什么溶液先腐蚀镍，然后再只对银腐蚀呢？

我的目的在于：掩膜版下的金属侧壁最好要直、陡峭，而且最好不能形成上面宽下面窄的畸形侧壁（硅衬底上的银基窄，掩膜版下的镍层宽的局面是我不想要的）

不知道我说的是否清楚？

[ Last edited by sholomo on 2009-12-24 at 22:27 ]

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