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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射镀膜出现奇怪现象
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floljf

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
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小木虫:)(金币+3,VIP+0):3q 12-24 20:48
两个看法：
30W的射频功率肯定已经抛弃了功率过大导致的反溅。如果每次都是这样，可能也不是你衬底的问题了。我的看法是你薄膜的降温曲线。降温速率过快，导致薄膜内部的应力释放过快，可能会导致薄膜的脱落。请吧你的降温过程说出来看看。
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11楼2009-12-24 15:49:50
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cjw796

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
有些材料就是比较容易脱落，尤其是在高温条件下沉积，可能是和基片热膨胀系数不匹配的原因，建议改变一下溅射条件，比如温度，功率什么的。
引用回帖:
Originally posted by yjyang07 at 2009-12-22 17:36:33:
我用射频的磁控溅射做铁酸钴薄膜，2寸的靶，功率30w，很小，气压1Pa左右，温度大概590度，薄膜怎么老是起皮脱落,不知道为什么？
是因为温度太高还是氧离子反溅射所致，还是因为腔体被污染了？请高手指点。

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12楼2010-02-20 23:49:48
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BUSKIN

木虫 (小有名气)
同意11楼的
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13楼2010-02-21 00:35:28
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农家仔

铜虫 (小有名气)

薄膜厚度？？

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
薄膜的厚度也会影响附着力，如果楼主溅射的时间并不长，可以排除此因素。另，国产的镀膜机在溅射较长时间后，是需要休息一会儿的，呵呵，这个俺问过沈阳的生产厂家。
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好吃不懒做
14楼2010-02-22 10:58:54
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yjyang07

木虫 (著名写手)
好的 知道了  谢谢了
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天行健，君子以自强不息～～～～～
15楼2010-02-28 09:22:14
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