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floljf

金虫 (正式写手)

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小木虫:)(金币+3,VIP+0):3q 12-24 20:48

两个看法：
30W的射频功率肯定已经抛弃了功率过大导致的反溅。如果每次都是这样，可能也不是你衬底的问题了。我的看法是你薄膜的降温曲线。降温速率过快，导致薄膜内部的应力释放过快，可能会导致薄膜的脱落。请吧你的降温过程说出来看看。

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11楼2009-12-24 15:49:50

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cjw796

金虫 (小有名气)

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有些材料就是比较容易脱落，尤其是在高温条件下沉积，可能是和基片热膨胀系数不匹配的原因，建议改变一下溅射条件，比如温度，功率什么的。

引用回帖:

Originally posted by yjyang07 at 2009-12-22 17:36:33:
我用射频的磁控溅射做铁酸钴薄膜，2寸的靶，功率30w，很小，气压1Pa左右，温度大概590度，薄膜怎么老是起皮脱落,不知道为什么？
是因为温度太高还是氧离子反溅射所致，还是因为腔体被污染了？请高手指点。

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12楼2010-02-20 23:49:48

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