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floljf

金虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
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小木虫:)(金币+3,VIP+0):3q 12-24 20:48
两个看法:
30W的射频功率肯定已经抛弃了功率过大导致的反溅。如果每次都是这样,可能也不是你衬底的问题了。我的看法是你薄膜的降温曲线。降温速率过快,导致薄膜内部的应力释放过快,可能会导致薄膜的脱落。请吧你的降温过程说出来看看。
11楼2009-12-24 15:49:50
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cjw796

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
有些材料就是比较容易脱落,尤其是在高温条件下沉积,可能是和基片热膨胀系数不匹配的原因,建议改变一下溅射条件,比如温度,功率什么的。
引用回帖:
Originally posted by yjyang07 at 2009-12-22 17:36:33:
我用射频的磁控溅射做铁酸钴薄膜,2寸的靶,功率30w,很小,气压1Pa左右,温度大概590度,薄膜怎么老是起皮脱落,不知道为什么?
是因为温度太高还是氧离子反溅射所致,还是因为腔体被污染了?请高手指点。

12楼2010-02-20 23:49:48
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BUSKIN

木虫 (小有名气)

同意11楼的
13楼2010-02-21 00:35:28
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农家仔

铜虫 (小有名气)

薄膜厚度??


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
薄膜的厚度也会影响附着力,如果楼主溅射的时间并不长,可以排除此因素。另,国产的镀膜机在溅射较长时间后,是需要休息一会儿的,呵呵,这个俺问过沈阳的生产厂家。
好吃不懒做
14楼2010-02-22 10:58:54
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yjyang07

木虫 (著名写手)

好的 知道了  谢谢了
天行健,君子以自强不息~~~~~
15楼2010-02-28 09:22:14
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