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yjyang07

木虫 (著名写手)

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[交流] 【求助】磁控溅射镀膜出现奇怪现象

我用射频的磁控溅射做铁酸钴薄膜，2寸的靶，功率30w，很小，气压1Pa左右，温度大概590度，薄膜怎么老是起皮脱落,不知道为什么？
是因为温度太高还是氧离子反溅射所致，还是因为腔体被污染了？请高手指点。

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天行健，君子以自强不息～～～～～

1楼2009-12-22 17:36:33

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cjw796

金虫 (小有名气)

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★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

有些材料就是比较容易脱落，尤其是在高温条件下沉积，可能是和基片热膨胀系数不匹配的原因，建议改变一下溅射条件，比如温度，功率什么的。

引用回帖:

Originally posted by yjyang07 at 2009-12-22 17:36:33:
我用射频的磁控溅射做铁酸钴薄膜，2寸的靶，功率30w，很小，气压1Pa左右，温度大概590度，薄膜怎么老是起皮脱落,不知道为什么？
是因为温度太高还是氧离子反溅射所致，还是因为腔体被污染了？请高手指点。