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xukun0830金虫 (小有名气)
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【求助】射频磁控溅射辉光不稳定
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射频磁控溅射镀膜 最近自己做了几个靶材镀膜，可是非常不容易起辉，或者反复地起辉后又灭掉。 我想请教，这种射频电源整流器自动不断调节，辉光亮了又灭，如此反复意味着什么？ 我自己觉得有几个可能的原因： 1）靶材过厚（直径33mm, 厚度3mm，磁性材料，磁性很弱） 2）靶材与溅射源的磁体接触不良 3）衬底接地不良 我磁控溅射镀膜是新手，实验室里面也没人商量，希望大家多多指教。 |
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linlin1013
金虫 (正式写手)
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2楼2009-12-17 19:49:57