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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【请教】请教，怎样在ITO玻璃上制备一层10nm左右的薄层
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sunjh298

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】请教，怎样在ITO玻璃上制备一层10nm左右的薄层

请教，怎样在ITO玻璃上制备一层10nm左右的薄层
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1楼2009-12-17 14:55:44
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sunjh298

银虫 (小有名气)
补充一下，是SiO2
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2楼2009-12-17 14:56:33
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linlin1013

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢！ 12-17 15:52
sunjh298(金币+2,VIP+0): 12-17 16:16
可以用溶胶凝胶法 提拉镀膜
我就是这样镀膜的，每层膜的厚度大概就10nm左右，不过我的原料不是SiO2
SiO2的话可以用正硅酸已酯做原料来配溶胶

磁控溅射，真空蒸镀都可以镀膜，有SiO2的靶材就可以
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3楼2009-12-17 15:03:17
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herben2022

铜虫 (初入文坛)
★
sunjh298(金币+1,VIP+0): 12-18 10:34
用真空室真空蒸镀镀膜
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4楼2009-12-17 16:27:30
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
sunjh298(金币+1,VIP+0): 12-18 10:34
貌似CVD膜厚好控制一些。
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没有困难创造困难也要上网。
5楼2009-12-17 16:30:02
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hzqllsun

木虫 (小有名气)
★
sunjh298(金币+1,VIP+0): 12-20 11:59
真空蒸镀应该不行，温度达不到吧？！
用磁控溅射和电子束蒸发都可以，我们都是这么做，如果要控制厚度，配合使用薄膜监控仪，搞定！！！
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PermanentHeadDamage;ProudlyHalfDead;PigHasDream！
6楼2009-12-18 13:10:38
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bailusge

木虫 (著名写手)
★
sunjh298(金币+1,VIP+0): 12-20 11:58
我认为使用pld方法成膜更准确一点吧，只要计算脉冲个数就可以了。。
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在别人贪婪时我们应该恐惧，在别人恐惧时我们应该贪婪
7楼2009-12-19 12:53:38
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