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david_xian

[交流] 【请教】测量材料表面形状的仪器已有1人参与

请问各位虫友,是否用过测量材料表面微观尺寸的仪器,就是测量台阶高度等的仪器?
谢谢
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gwwhit

银虫 (初入文坛)


jic8417(金币+1):谢谢参与。 2010-04-15 00:15
原子力显微镜肯定行
4楼2010-04-14 19:22:31
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webber_wei

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
看你样品表面台阶的高度了。AFM很精密,要求台阶不能太高,否则会把原子针撞断,具体的测量范围你可以查一下。台阶仪比AFM精度差些,但一般是用来测膜厚的。具体你百度一下吧。
3楼2009-12-18 09:44:55
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