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【求助】请问用椭偏仪测试薄膜的折射率时应该怎么建立相应的模型?
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请问用椭偏仪测试包膜厚度和折射率时应该怎么样建立模型?我的薄膜是SiO2和PMMA混合物,薄膜厚度大约400-500nm之间吧,大家有什么经验么?谢谢了 |
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椭偏测量 |
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2楼2010-01-07 13:49:42











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