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yjyang07木虫 (著名写手)
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[交流]
【请教】CoFeSiB合金的电阻问题
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有没有人做过CoFeSiB合金薄膜？ 请教：我在室温下磁控溅射做的 ，做出来的CoFeSiB薄膜电阻非常大，在硅片上大约有兆欧量级，这个与CoFeSiB合金的电阻率低矛盾。我怀疑是靶材在生产过程中已经被氧化了或者薄膜暴露在空气中被氧化了，导致电阻率升高。 请高手指点！！ |
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