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icwafer金虫 (正式写手)
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[交流]
【讨论】非Pt衬底时，如何找下电极
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溶胶凝胶法做铁电薄膜，当下电极不是Pt时，如用ITO、LNO等氧化物电极时，铁电薄膜把整个下电极都覆盖了，不好找下电极。 用透明胶之类贴一个角的话，每镀一次膜都要烧结一下，烧结的碳化物可能影响到膜的质量。 如果用酸来刻蚀铁电薄膜的话，控制不好把下电极也腐蚀了。 请问各位做铁电薄膜时，有什么好的技巧来解决这个问题。谢谢。 |
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