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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】请问不同的ITO溅镀温度对其性质有何影响？
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三

[交流] 【求助】请问不同的ITO溅镀温度对其性质有何影响？

请问不同的ITO溅镀时的温度会对ITO的光电性质有什么影响没？？

是否在低温条件下溅镀得到的ITO剥膜质软、较易被蚀刻？？分别可用什么酸来蚀刻呢？？

小弟才接触ITO，对其性质不很理解，还望各位大侠多指点迷津，万分感谢!！
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心怀感恩，凡人与事都值得我感恩一番。
1楼 2009-11-28 23:36:09
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★
jamie82(金币+2,VIP+0):TKS 11-29 08:44
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3q 11-29 20:18
温度有影响，但是对ITO来说影响很小。
酸蚀刻ITO的目的是什么啊？
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2楼2009-11-29 06:47:21
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三
引用回帖:
Originally posted by cord at 2009-11-29 06:47:
温度有影响，但是对ITO来说影响很小。
酸蚀刻ITO的目的是什么啊？

触摸屏制程中少不了ITO蚀刻，就是想咨询下在不同的溅镀参数下可以用什么样蚀刻液蚀刻
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心怀感恩，凡人与事都值得我感恩一番。
3楼2009-11-29 08:44:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★
jamie82(金币+2,VIP+0):TKS 11-29 13:49
小木虫:)(金币+2,VIP+0):3q 11-29 20:18
触摸屏中用的ITO蚀刻是采用等离子体蚀刻吧。
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4楼2009-11-29 09:52:27
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三
引用回帖:
Originally posted by cord at 2009-11-29 09:52:
触摸屏中用的ITO蚀刻是采用等离子体蚀刻吧。

出于成本及效率考虑，目前采用的是黄光蚀刻（湿法）。
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心怀感恩，凡人与事都值得我感恩一番。
5楼2009-11-29 13:49:58
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★
jamie82(金币+4,VIP+0):好的，收到，谢谢。 11-29 17:23
小木虫:)(金币+2,VIP+0):3q 11-29 20:18
溅射温度对ITO的光电性能影响很大，低温沉积时，一般情况下，光电性能差，而且影响薄膜的微结构，有可能薄膜为非晶态。
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6楼2009-11-29 15:12:09
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫:)(金币+2,VIP+0):3q 11-30 21:37
我们就是采用室温法制备ITO和ZnO的，光电特性很好，一直这么做。
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7楼2009-11-30 00:43:12
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floljf

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by cord at 2009-11-30 00:43:
我们就是采用室温法制备ITO和ZnO的，光电特性很好，一直这么做。

请问兄台，在太阳能电池的应用上，ITO,FTO,BZO,AZO，各有什么优劣呢？主要集中在电学、光学、以及制备方法上考虑
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8楼2009-12-16 09:09:47
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