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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三

[交流] 【求助】请问不同的ITO溅镀温度对其性质有何影响?

请问不同的ITO溅镀时的温度会对ITO的光电性质有什么影响没??

是否在低温条件下溅镀得到的ITO剥膜质软、较易被蚀刻??分别可用什么酸来蚀刻呢??

小弟才接触ITO,对其性质不很理解,还望各位大侠多指点迷津,万分感谢!!
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心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★
jamie82(金币+2,VIP+0):TKS 11-29 08:44
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3q 11-29 20:18
温度有影响,但是对ITO来说影响很小。
酸蚀刻ITO的目的是什么啊?
2楼2009-11-29 06:47:21
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三

引用回帖:
Originally posted by cord at 2009-11-29 06:47:
温度有影响,但是对ITO来说影响很小。
酸蚀刻ITO的目的是什么啊?

触摸屏制程中少不了ITO蚀刻,就是想咨询下在不同的溅镀参数下可以用什么样蚀刻液蚀刻
心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
3楼2009-11-29 08:44:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★
jamie82(金币+2,VIP+0):TKS 11-29 13:49
小木虫:)(金币+2,VIP+0):3q 11-29 20:18
触摸屏中用的ITO蚀刻是采用等离子体蚀刻吧。
4楼2009-11-29 09:52:27
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三

引用回帖:
Originally posted by cord at 2009-11-29 09:52:
触摸屏中用的ITO蚀刻是采用等离子体蚀刻吧。

出于成本及效率考虑,目前采用的是黄光蚀刻(湿法)。
心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
5楼2009-11-29 13:49:58
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★
jamie82(金币+4,VIP+0):好的,收到,谢谢。 11-29 17:23
小木虫:)(金币+2,VIP+0):3q 11-29 20:18
溅射温度对ITO的光电性能影响很大,低温沉积时,一般情况下,光电性能差,而且影响薄膜的微结构,有可能薄膜为非晶态。
6楼2009-11-29 15:12:09
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫:)(金币+2,VIP+0):3q 11-30 21:37
我们就是采用室温法制备ITO和ZnO的,光电特性很好,一直这么做。
7楼2009-11-30 00:43:12
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floljf

金虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by cord at 2009-11-30 00:43:
我们就是采用室温法制备ITO和ZnO的,光电特性很好,一直这么做。

请问兄台,在太阳能电池的应用上,ITO,FTO,BZO,AZO,各有什么优劣呢?主要集中在电学、光学、以及制备方法上考虑
8楼2009-12-16 09:09:47
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