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转载:洁净室(无尘室)标准
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洁净室(无尘室)标准 (一)洁净室之定义http://www.cccs-bd.com 洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。http://www.cccs-bd.com 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。http://www.cccs-bd.com 洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。http://www.cccs-bd.com (二)洁净室之等级http://www.cccs-bd.com 世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。http://www.cccs-bd.com 209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。http://www.cccs-bd.com 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。http://www.cccs-bd.com (三)洁净室控管之项目http://www.cccs-bd.com 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。http://www.cccs-bd.com 2. 能防止微尘粒子之产生。http://www.cccs-bd.com 3. 温度和湿度之控制。http://www.cccs-bd.com 4. 压力之调节。http://www.cccs-bd.com 5. 有害气体之排除。http://www.cccs-bd.com 6. 结构物与隔间之气密性。http://www.cccs-bd.com 7. 静电之防制。http://www.cccs-bd.com 8. 电磁干扰预防。http://www.cccs-bd.com 9. 安全因素之考虑。http://www.cccs-bd.com 10. 节能之考量。http://www.cccs-bd.com (四)洁净室之分类http://www.cccs-bd.com 1.乱流式(Turbulent Flow)：http://www.cccs-bd.com 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。http://www.cccs-bd.com 优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。http://www.cccs-bd.com 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 http://www.cccs-bd.com 2.层流式(Laminar)：http://www.cccs-bd.com 层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：http://www.cccs-bd.com (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。http://www.cccs-bd.com 优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。http://www.cccs-bd.com 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。http://www.cccs-bd.com (2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所http://www.cccs-bd.com 产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。http://www.cccs-bd.com 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。http://www.cccs-bd.com 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。http://www.cccs-bd.com 3.复合式(Mixed Type)：http://www.cccs-bd.com 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。http://www.cccs-bd.com (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。http://www.cccs-bd.com 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。http://www.cccs-bd.com (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。http://www.cccs-bd.com (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。http://www.cccs-bd.com 洁净工作台：等级Class 1~100级。http://www.cccs-bd.com 洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。http://www.cccs-bd.com (五)洁净室气流之流动http://www.cccs-bd.com 洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。http://www.cccs-bd.com 洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。http://www.cccs-bd.com 洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。http://www.cccs-bd.com 另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。http://www.cccs-bd.com 垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。http://www.cccs-bd.com 影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。http://www.cccs-bd.com 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。http://www.cccs-bd.com 洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。http://www.cccs-bd.com (六)洁净室之构成http://www.cccs-bd.com 洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室：http://www.cccs-bd.com (1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling http://www.cccs-bd.com grid或Ceilingframe)。http://www.cccs-bd.com (2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。http://www.cccs-bd.com (3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。http://www.cccs-bd.com (4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。http://www.cccs-bd.com (5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。http://www.cccs-bd.com 洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：http://www.cccs-bd.com A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；http://www.cccs-bd.com B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；http://www.cccs-bd.com C.吸湿性小；http://www.cccs-bd.com D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；http://www.cccs-bd. |
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