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cqh3851038

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】怎样在单晶硅上面生长氧化硅

请问哪位能够帮忙解决一下这个问题:在单晶硅上面生长一层氧化层,这层氧化层的厚度为几百纳米,并且下面的硅没有氧化;自然氧化可以但是只有几个纳米厚;如果烧的话,怎样做呢?请问哪位师兄能够帮忙一下。
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msxue2004

银虫 (正式写手)


cqh3851038(金币+1,VIP+0): 11-28 14:05
那你就在硅上镀膜生长呗。如果烧,质量没有保证吧。具体生长你可以找别人镀膜的。有专门镀膜的单位或公司可以帮你做。
2楼2009-11-28 13:41:55
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cqh3851038

金虫 (正式写手)

可以镀膜的,我想到了这个方面,可以用磁控溅射或者电子束蒸发,或PLD都可以的,但是靶材是二氧化硅吗?还用没有比二氧化硅更好的靶材?谢谢你们
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3楼2009-11-28 14:08:19
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★
cqh3851038(金币+2,VIP+0): 11-29 09:11
PECVD法用硅烷和二氧化碳或者NO2可以在硅表面生长你需要的任何厚度的二氧化硅
4楼2009-11-28 21:51:16
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cqh3851038

金虫 (正式写手)

上面那个师兄能不能再具体一点呀?谢谢你哈
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5楼2009-11-29 09:13:18
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