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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【请教】请教大家关于硅的深刻蚀方面得知识，谢谢啊
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darkbluex

[交流] 【请教】请教大家关于硅的深刻蚀方面得知识，谢谢啊

各位大侠，关于这方面的知识资料能够让小女子学习学习

谢谢

[ Last edited by darkbluex on 2009-11-23 at 22:00 ]
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1楼 2009-11-23 21:56:34
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
关键词：刻蚀，高深宽比，ICP，ECR，等离子体，偏压，MEMS
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-11-24 11:29:05
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tilo33565

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
帮顶下~~~~~~~~~···
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2009-11-24 12:06:43
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