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原子层沉积(ALD)等微纳代工服务:18817872921
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PECVD(日本爱发科8寸机):氧化硅,氮化硅
溅射(日本爱发科8寸机):ITO,Mo,Al,Au,Pt,Ti,Cr等
热蒸发:金,银,铝等
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浮云166
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