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喜报｜探真纳米参与起草国家标准 GB/T 48076-2026 即将发布！
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喜报｜探真纳米参与起草国家标准 GB/T 48076-2026 即将发布！ 重磅喜讯 探真纳米作为主要起草单位之一，参与制定的国家标准《纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量》（GB/T 48076-2026）即将正式发布。 针对半导体、微纳器件中大深宽比结构测量难题，本标准建立碳纳米管探针 AFM 测量统一技术规范，明确探针选型、校准、测量与评估方法，填补国内行业标准空白。 深度参与国标编制，是探真纳米技术实力的印证。我们持续深耕全品类AFM 探针国产化，以自主可控的微纳表征核心部件，助力国内纳米计量、半导体检测产业发展。 国家标准《纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行，主管部门为中国科学院。 主要起草单位 西安交通大学 中国计量科学研究院 探真纳米科技（衢州）有限公司 主要起草人 杨树明 、张国锋 、吉培瑞 、李适 、李伟 、崔波 、贾宪生 标准引言 大深宽比微纳结构是当前先进制程半导体芯片中的典型结构，其关键尺寸小、深宽或深径比较大、三维形貌复杂，测量难度大。扫描探针显微镜利用探针在样品表面往复扫描，通过探针与样品表面的机械、电磁或化学作用进行测量，广泛应用于纳米科技、材料科学及机械电子工程等领域。在微纳结构形貌测量方面，原子力显微镜是最具代表性的扫描探针显微镜之一，利用探针与样品之间的相互作用力来获得样品表面的形貌特征。 然而，传统原子力显微镜探针的长径比较小、针尖呈三角锥形，测量分辨力受限于针尖的几何形貌，难以满足大深宽比微纳结构的测量需求。碳纳米管是典型的一维纳米材料，具有大长径比形貌特征和优异的力学性能。将碳纳米管与传统扫描探针结合，如在传统原子力显微镜探针尖端通过物理或化学方法组装一段碳纳米管，利用碳纳米管代替传统原子力显微镜探针针尖对样品进行扫描，能精确测得大深宽比微纳结构的三维形貌。这类探针在先进制程芯片检测中的应用，将促进半导体芯片制造技术的发展。  |
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