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求助,热蒸发镀镍具体是怎样实现的,我用了各种方案都不能实现 发自小木虫手机客户端 |
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木虫之王 (文坛精英)
上善若水,利万物而不争
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电阻加热法(钨舟):将镍丝或镍粒放置在由钨、钽等高熔点金属制成的“舟”或“篮”中,通过通入大电流产生焦耳热来加热镍。但需注意,镍在高温下容易与钨舟形成合金,导致钨舟烧穿,因此直接使用普通钨舟蒸发镍比较困难。一个有效的解决方案是使用氧化铝涂层的钨舟,它能有效阻隔镍与钨的直接接触。 电子束加热法:对于镍这类熔点较高的金属,更可靠的方法是使用电子束蒸发。利用电子束轰击放在水冷坩埚中的镍靶材,可以产生极高的局部温度使其蒸发,同时避免坩埚材料污染薄膜。有专利显示,通过将电子束功率提高至 40-70 kW,可以实现快速蒸镀,短时间内即可获得 1μm 以上的镍层厚度 |
2楼2026-10-13 14:59:38










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