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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 科研市场区 » 试剂耗材抗体推广 » 耗材类 » 【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺
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cyxzgjvx

新虫 (小有名气)

[商家供应] 【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺

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满 x 可使用；有效期 x 天；过期可退

内容

微纳代工服务说明如下：

服务范围
◆ ALD服务（芬兰beneq机台：8inch/4台）：Al2O3、SiO2、ZnO 、HfO2、ZrO2、In2O3、TiO2、AlN、TiN、Ga2O3、Y2O3、Pt。每炉样品尺寸8inch以内。以上的混合物也都可以做，如HZO、IGZO等。
◆ ALD服务（芬兰beneq机：12inch/1台）：Al2O3、TiO2，每炉可以12片4inch或者6片8inch。
◆ CVD服务（日本爱发科大型机台）：SiO2、SiN ，样品尺寸8inch以内。
◆ 热蒸发：Cu、Ni、Al、Ag、Au，样品尺寸4inch以内。
◆ 磁控溅射（日本爱发科大型机台）：ITO、IGZO、Mo、Ti、Al 、Au、Pt，样品尺寸6inch以内。

设备优势
● 采用半导体级双腔体设计，大幅缩短吹扫时间，降低类CVD反应，解决金属形变及析出问题带来的工艺问题
● 可以针对不同形状的样品定制不同的内腔体实现不同的科研目标
● 腔体GDU前驱体快速阻断设计提高生长质量
● 热源采用金属热辐射设计，保证温度的一致性防止管路堵塞
●  高度开放的recipe，例如泵抽调速或暂停/多喷头模式，适应不同的科研需要，最大权限开放给科研人员
● 8 inch硅片氧化铝非均匀性0.5%以内

样品性质（必填）
为方便技术团队判断是否可以进行代工服务，提高沟通效率，请您务必复制下方信息，填写后发送至公司邮箱（邮箱见下方特别说明）
1.尺寸（inch/mm）      
2.厚度（μm）      
3.沉积材质（需镀膜的种类）      
4.基底材质      
5.样品形状（晶圆/方形片/异形片）      

样品提示
● 对于ALD工艺样品必须彻底清洗干净，需耐温，无毒，无易分解、无易扩散（如Cu），无粉末，禁止用mark笔标记样品！禁止有任何有机物！
● 样品尽量采用洁净真空双层包装寄送！样品不能有无尘纸等接触表面，不能用双面胶带固定（无法取下），采用硅片盒和自吸附盒子!
● 因样品不耐温或者工艺不兼容导致的样品损坏，卖方不承担任何赔偿责任。样品通过顺丰寄送，建议声明样品总价值保价，保价费由买方承担。

特别说明
● 提供增值税普通发票，款到开始执行工艺。
● 如需服务，请发送样品相关信息至邮箱：jenny@atomicald.com
●兼售ALD设备——双腔体喷淋盘式设备，多所高校和研究所已采用，领先业内水准!如需可联系上方邮箱。
●如有疑问，欢迎致电：17685529658 胡

技术交流
● TEL：18817872921 丁

上海埃拓米半导体有限公司

【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺


【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺-1


【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺-2
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1楼 2026-09-08 16:59:58
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GOa33HKKemiO

新虫 (正式写手)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
想了解一下
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15楼2026-09-09 09:18:11
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jxIDgFdGtRVJ

新虫 (著名写手)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
这个贴子有意义
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22楼2026-09-09 18:01:13
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kcmz8524

新虫 (知名作家)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
支持楼主，支持原创！
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31楼2026-09-09 18:06:41
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DBZsSb3j0gZn

新虫 (正式写手)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
已阅读，点赞
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34楼2026-09-09 18:06:41
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vA3J6D0jEKGx

新虫 (著名写手)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
支持楼主，支持原创！
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47楼2026-09-09 18:13:26
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aife2619

新虫 (知名作家)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
支持楼主，支持原创！
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49楼2026-09-09 18:13:26
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vtow6266

木虫 (知名作家)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
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53楼2026-09-09 18:15:36
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gmZWQHF3zgnx

新虫 (正式写手)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
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96楼2026-09-09 18:28:54
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XyhZRzz3DGL9

新虫 (著名写手)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
可惜没早点看到
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107楼2026-09-09 18:31:21
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普通回帖

cyxzgjvx

新虫 (小有名气)
cyxzgjvx: 回帖置顶 2026-09-08 17:09:33
如有需要，欢迎大家Email 或 tele（wechat）咨询~
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2楼2026-09-08 17:08:42
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miaojiabing
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
3楼2026-09-08 17:23:02
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shenrenren
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
4楼2026-09-08 17:58:41
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xiaoqiuqiu20
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
5楼2026-09-08 18:08:21
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shawxz2012

捐助贵宾 (文坛精英)
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
（?????`???) ?
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6楼2026-09-08 18:24:45
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jiaoxg
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
7楼2026-09-08 19:06:46
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tfang
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
8楼2026-09-08 20:32:49
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tfang
9楼2026-09-08 20:34:41
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庚辰辛丑
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
10楼2026-09-08 21:39:04
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