| 查看: 1544 | 回复: 126 | ||
[商家供应]
【半导体薄膜代工】ALD/CVD/磁控溅射/热蒸发全工艺
|
||
|
微纳代工服务说明如下： 服务范围 ◆ ALD服务（芬兰beneq机台：8inch/4台）：Al2O3、SiO2、ZnO 、HfO2、ZrO2、In2O3、TiO2、AlN、TiN、Ga2O3、Y2O3、Pt。每炉样品尺寸8inch以内。以上的混合物也都可以做，如HZO、IGZO等。 ◆ ALD服务（芬兰beneq机：12inch/1台）：Al2O3、TiO2，每炉可以12片4inch或者6片8inch。 ◆ CVD服务（日本爱发科大型机台）：SiO2、SiN ，样品尺寸8inch以内。 ◆ 热蒸发：Cu、Ni、Al、Ag、Au，样品尺寸4inch以内。 ◆ 磁控溅射（日本爱发科大型机台）：ITO、IGZO、Mo、Ti、Al 、Au、Pt，样品尺寸6inch以内。 设备优势 ● 采用半导体级双腔体设计，大幅缩短吹扫时间，降低类CVD反应，解决金属形变及析出问题带来的工艺问题 ● 可以针对不同形状的样品定制不同的内腔体实现不同的科研目标 ● 腔体GDU前驱体快速阻断设计提高生长质量 ● 热源采用金属热辐射设计，保证温度的一致性防止管路堵塞 ● 高度开放的recipe，例如泵抽调速或暂停/多喷头模式，适应不同的科研需要，最大权限开放给科研人员 ● 8 inch硅片氧化铝非均匀性0.5%以内 样品性质（必填） 为方便技术团队判断是否可以进行代工服务，提高沟通效率，请您务必复制下方信息，填写后发送至公司邮箱（邮箱见下方特别说明） 1.尺寸（inch/mm） 2.厚度（μm） 3.沉积材质（需镀膜的种类） 4.基底材质 5.样品形状（晶圆/方形片/异形片） 样品提示 ● 对于ALD工艺样品必须彻底清洗干净，需耐温，无毒，无易分解、无易扩散（如Cu），无粉末，禁止用mark笔标记样品！禁止有任何有机物！ ● 样品尽量采用洁净真空双层包装寄送！样品不能有无尘纸等接触表面，不能用双面胶带固定（无法取下），采用硅片盒和自吸附盒子! ● 因样品不耐温或者工艺不兼容导致的样品损坏，卖方不承担任何赔偿责任。样品通过顺丰寄送，建议声明样品总价值保价，保价费由买方承担。 特别说明 ● 提供增值税普通发票，款到开始执行工艺。 ● 如需服务，请发送样品相关信息至邮箱：jenny@atomicald.com ● 兼售ALD设备——双腔体喷淋盘式设备，多所高校和研究所已采用，领先业内水准!如需可联系上方邮箱。 技术交流 ● TEL：18817872921 丁 上海埃拓米半导体有限公司    |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有4人回复
-
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有6人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有6人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急
已经有8人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有8人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有10人回复
-
2026国自然函评费到账
已经有11人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有3人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
告别流水线爽文！108万字完结仙侠《女娲石之灵石奇缘（仙界篇）》值得细品
+1/9020
-
散金祈福
+3/795
-
每年这时候我都再仔细读一遍《范进中举》
+1/476
-
华西生物制药研究院招聘科研助理
+2/400
-
南方医科大学|生物材料与医学工程团队诚聘科研助理
+2/270
-
诚征另一半
+1/172
-
山东征女友，坐标济南
+1/89
-
上海交通大学张航课题组招聘博士后（电化学储能）
+1/89
-
强耀生物金秋开学季活动，2026年8月18日-10月31日，肽库筛选低至2W5
+3/43
-
面上基金祈福
+1/42
-
瑞典-博后-固态电池-粘结剂-锂离子电池方向
+1/37
-
瑞典-博后-固态电池-粘结剂-锂离子电池方向
+1/28
-
祈祷老公中国基
+1/7
-
中科院大连化学物理研究所 招聘 催化剂研发方向 科研助理 2名
+1/5
-
河海大学海洋环境污染与生态毒理学研究组招收2027级硕士生 及博士研究生
+1/2
-
清华大学环境课题组招聘环境工作专业客座生研究生2-3名（应用导向）
+1/2
-
新审查指南施行半年，AI方向的专利申请是不是更看"技术味"了？
+1/2
-
【产品测评分享】体外转录产量不理想、dsRNA 副产物高？T7 RNA 聚合酶实测体验
+1/1
-
江苏大学生物科学与技术学院雍阳春课题组招聘“合成生物学”副教授/讲师
+1/1
-
澳大利亚南昆士兰大学量子点课题组招收全奖博士生
+1/1
gaIgsmlOe4Gc
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 958.2
- 帖子: 1860
- 在线: 87.7小时
- 虫号: 37164804
- 注册: 2026-07-22
- 专业: 畜牧学与草地科学
41楼2026-08-18 20:50:59
pjpz6522
新虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3970.8
- 散金: 854
- 帖子: 4344
- 在线: 344.1小时
- 虫号: 23087631
- 注册: 2020-07-12
- 专业: 园艺学与植物营养学
62楼2026-08-18 20:50:59
9700671767
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2183.3
- 帖子: 2753
- 在线: 203.1小时
- 虫号: 37124737
- 注册: 2026-06-11
- 专业: 发育生物学与生殖生物学
103楼2026-08-18 21:57:41
2楼2026-08-18 11:29:26
3楼2026-08-18 13:42:30
cchv2368
新虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2061.4
- 散金: 2607
- 帖子: 4329
- 在线: 347.5小时
- 虫号: 24114513
- 注册: 2020-10-19
- 专业: 园艺学与植物营养学
4楼2026-08-18 20:18:40
★
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
cyxzgjvx(金币+1): 谢谢参与
| 上 |
5楼2026-08-18 20:18:40
vrdq2651
新虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2351
- 散金: 3995
- 帖子: 4689
- 在线: 358小时
- 虫号: 24113203
- 注册: 2020-10-19
- 专业: 遗传学与生物信息学
6楼2026-08-18 20:18:40
ybax0713
新虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2669.7
- 散金: 2206
- 帖子: 4061
- 在线: 330.3小时
- 虫号: 23731702
- 注册: 2020-10-13
- 专业: 发育生物学与生殖生物学
7楼2026-08-18 20:18:40
acdf9791
新虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3883.3
- 散金: 1682
- 帖子: 4702
- 在线: 352小时
- 虫号: 23706387
- 注册: 2020-10-11
- 专业: 物理学II
8楼2026-08-18 20:18:40
954786697
金虫 (职业作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3874.5
- 散金: 3659
- 帖子: 4820
- 在线: 345.7小时
- 虫号: 23615415
- 注册: 2020-10-01
- 专业: 细胞生物学
9楼2026-08-18 20:18:40
10楼2026-08-18 20:18:40
