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liftoff 时候 ebe 蒸镀 cr 为什么总是断线脱落
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5214 光刻胶(2um)(周期性结构),用 ebe 在铌酸锂上沉积 300nm 的 cr,不管是 50℃ 还是 100℃,总有不小概率在剥离时候断线然后相当于毁了,该怎么改参数啊 发自小木虫手机客户端 |
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