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氩离子平面抛光+截面切割
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做SEM/EBSD的同学应该都有同感:机械抛光/离子溅射后的样品,表面损伤层、应力变形、边缘倒角这些问题,经常让真实结构"失真"。 特别是一些软性材料比如薄膜,锂电等软金属材质,使用氩离子切割能在保留原始表面的情况下还能得到清晰的切面特征。 这下面是做的几个氩离子切割的图片方便大家直观的看到效果 |
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