应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » su8显影后结构整体脱落问题
211/1返回列表
查看: 11394  |  回复: 20
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

冯虚御风冯

新虫 (小有名气)
已领完
su8显影后结构整体脱落问题
领取红包 (小木虫手机app专属红包)

扫一扫，下载小木虫客户端

各位大神好，我刚接触SU8光刻，使用SU8‑3025在玻璃基板上制备高深宽比环形挡墙结构，目前遇到严重问题：显影后除了宽线条外，环形细结构基本全部溶胀、脱落，就连1:1深宽比都无法稳定成型，想请教各位帮我分析工艺问题并给出改进建议。

我目前完整工艺流程如下：

1. 玻璃基板酒精擦拭清洁
​
2. 150 ℃烘烤 10 min
​
3. 旋涂HMDS，3000 r/min，30 s
​
4. 70 ℃烘烤 100 s
​
5. 旋涂SU8‑3025，目标膜厚22 μm
​
6. 软烘：65 ℃ 300 s → 95 ℃ 1200 s，之后自然冷却
​
7. 紫外曝光，曝光剂量300 mJ/cm²
​
8. 后烘PEB：65 ℃ 1 min → 95 ℃ 5 min，自然冷却
​
9. 常规SU8显影液显影

现象总结：

1. 大宽度结构能保留，环形细线条几乎全部脱落、溶胀、起翘；
​
2. 结构整体偏软，显影液浸泡后容易塌胶；
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2026-05-14 00:01:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
muchong8882楼
2026-05-14 00:03   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
songjie243楼
2026-05-14 00:04   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
wyj9704楼
2026-05-14 00:06   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
99czh5楼
2026-05-14 00:14   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
yi心灵感应6楼
2026-05-14 01:13   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
yetaiheil7楼
2026-05-14 02:10   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
建辉_19988楼
2026-05-14 05:14   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
山风20129楼
2026-05-14 06:08   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
shiyunbuji10楼
2026-05-14 06:31   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
zxf98411楼
2026-05-14 07:17   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
瞬success12楼
2026-05-14 07:37   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
bodygb13楼
2026-05-14 07:39   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
学员j30oDr14楼
2026-05-14 07:59   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
cupbzhuwei15楼
2026-05-14 11:17   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
封神之神16楼
2026-05-14 14:02   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
云在青天17楼
2026-05-14 14:25   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
XG-WUST18楼
2026-05-14 18:44   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
Andre_W19楼
2026-05-16 07:58   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
T0719202220楼
2026-05-29 19:55   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫手机客户端
科晰检测21楼
2026-06-05 14:22   回复  
冯虚御风冯(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
相关版块跳转 我要订阅楼主 冯虚御风冯 的主题更新
211/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-10-01 21:59 by Equinoxhua
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 4/200 2026-10-01 21:07 by Equinoxhua
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +7 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 8/400 2026-10-01 19:08 by Equinoxhua
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-10-01 09:23 by Equinoxhua
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 4/200 2026-09-30 16:52 by Z9YWQ5EAO3qp
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 6/300 2026-09-30 16:26 by Z9YWQ5EAO3qp
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 6/300 2026-09-30 16:14 by Z9YWQ5EAO3qp
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-29 19:27 by cqwQDCxMcL3I
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-09-29 16:54 by yCO1Ll7aHtsw
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-09-29 16:47 by yCO1Ll7aHtsw
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-09-29 16:37 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 16:03 by etmYJ6d2rquH
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:58 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:30 by etmYJ6d2rquH
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:13 by etmYJ6d2rquH
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-29 13:50 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:46 by b8fCuTHqckEt
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 3/150 2026-09-28 19:08 by 9lS3ad5oOymn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭