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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » su8显影后结构整体脱落问题
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冯虚御风冯

新虫 (小有名气)
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su8显影后结构整体脱落问题
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各位大神好，我刚接触SU8光刻，使用SU8‑3025在玻璃基板上制备高深宽比环形挡墙结构，目前遇到严重问题：显影后除了宽线条外，环形细结构基本全部溶胀、脱落，就连1:1深宽比都无法稳定成型，想请教各位帮我分析工艺问题并给出改进建议。

我目前完整工艺流程如下：

1. 玻璃基板酒精擦拭清洁
​
2. 150 ℃烘烤 10 min
​
3. 旋涂HMDS，3000 r/min，30 s
​
4. 70 ℃烘烤 100 s
​
5. 旋涂SU8‑3025，目标膜厚22 μm
​
6. 软烘：65 ℃ 300 s → 95 ℃ 1200 s，之后自然冷却
​
7. 紫外曝光，曝光剂量300 mJ/cm²
​
8. 后烘PEB：65 ℃ 1 min → 95 ℃ 5 min，自然冷却
​
9. 常规SU8显影液显影

现象总结：

1. 大宽度结构能保留，环形细线条几乎全部脱落、溶胀、起翘；
​
2. 结构整体偏软，显影液浸泡后容易塌胶；
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1楼 2026-05-14 00:01:43
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muchong8882楼
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山风20129楼
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shiyunbuji10楼
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瞬success12楼
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bodygb13楼
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封神之神16楼
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XG-WUST18楼
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Andre_W19楼
2026-05-16 07:58   回复  
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