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lmbe

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】如何选择真空泵?

现有自制的一套热化学气相沉积系统,重复文献关于负压生长碳纳米管的实验,发现一点也没有生长。分析原因可能是真空没抽到

问一下有经验的人,如果要抽真空到5torr,5 cm粗的直径需要抽速多大的泵,2L/s的是不是不够用?

还有高精度的真空计,数显的,在哪买?

还有文献中常提到 pirani gauage,是不是就是TEM上显示真空的,指针式的真空计?
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buffaloli

荣誉版主 (知名作家)

搜一下吧,实践出真知
2楼2009-11-18 08:06:47
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ustcxuxin

木虫 (正式写手)

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zeng1986kai(金币+1,VIP+0):谢谢应助! 11-18 15:40
5torr真空度不是很高, 一般机械泵都没有问题.
关键可能是你的系统密封性能.
好好
3楼2009-11-18 10:20:13
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jsczlimin

金虫 (正式写手)

★ ★
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zeng1986kai(金币+1,VIP+0):谢谢应助! 11-18 15:41
2x泵能到1T可能泵不好,换油试试。
4楼2009-11-18 10:32:50
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lmbe

木虫 (正式写手)

好像系统密封性能是不好,不知道接头怎么做密封才好呢?我是自己做的卡套,然后内加橡胶密封垫圈,真空很快就变差。
不知道应该怎么弄,有没有过来人指点一下啊
5楼2009-11-18 13:22:54
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wyender

铁杆木虫 (著名写手)


zeng1986kai(金币+1,VIP+0):谢谢应助! 11-18 15:41
一般油泵能比水泵抽的真空度更高。楼主要先检查一下你的体系是否漏气吧
6楼2009-11-18 13:23:05
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198zhaoyan

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★
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zeng1986kai(金币+1,VIP+0):谢谢应助! 11-18 15:41
可能是你的密封性不好,应该用油泵就可以了
7楼2009-11-18 15:21:44
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lmbe

木虫 (正式写手)

用的就是油泵。石英管和金属卡套连接的时候,除了橡胶密封垫圈,还需要什么密封措施?
8楼2009-11-18 18:53:55
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