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[求助]
锆氧基金属光刻胶的研发求助
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| 最近在做锆氧基金属负性光刻胶的研究,组分是氧化锆为主体甲基丙烯酸为配体的杂化材料(Zr02-MAA),光致产酸剂,溶剂是丙二醇甲醚醋酸酯。Zr02-MAA的含量是30mg/ml,光致产酸剂是3mg/ml。Zr02-MAA和光致产酸剂都是自己合成的,打了核磁没有问题,但是在电子束光刻时总是没有图案,用丙酮显影后整个胶就会马上脱落。想问问各位前辈,为什么总是光刻失败。 |
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