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锆氧基金属光刻胶的研发求助
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| 最近在做锆氧基金属负性光刻胶的研究，组分是氧化锆为主体甲基丙烯酸为配体的杂化材料（Zr02-MAA），光致产酸剂，溶剂是丙二醇甲醚醋酸酯。Zr02-MAA的含量是30mg/ml，光致产酸剂是3mg/ml。Zr02-MAA和光致产酸剂都是自己合成的，打了核磁没有问题，但是在电子束光刻时总是没有图案，用丙酮显影后整个胶就会马上脱落。想问问各位前辈，为什么总是光刻失败。 |
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